Aux Etats-Unis et au Japon, la proportion de ces rejets serait également faible pour les utilisations en photolithographie, selon de récentes évaluations.
Il est difficile d'évaluer le coût du remplacement du SPFO dans l'industrie de la photolithographie, vu l'absence de solutions de remplacement à l'heure actuelle.
La photolithographie est l'étape la plus importante pour le déroulement en bonne et due forme de chacune des autres étapes et, de fait, du processus global.